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研究背景
二维半导体具有原子级厚度与无悬挂键表面,是后硅器件的重要候选,但其外延生长是热力学与动力学共同支配的非平衡过程,衬底表面会重构或与前驱体反应,决定其晶相与形貌。
磷烯是高迁移率、带隙随层数可调的 p 型半导体,可控生长却受制于难以掌控的成核。围绕磷在 Cu(111) 上的相演化,报道彼此矛盾:先有晶格常数 3.4 Å 的翘曲蓝磷,后又报道约 4.2 Å 的超平坦相,并提出先形成磷化铜表面合金、再相变的两步路径;受手段尺度所限,争议悬而未决。
成果简介
东南大学王金兰教授、苏州国家实验室丁峰主任研究员、东南大学马亮教授团队将第一性原理计算、机器学习力场分子动力学模拟与扫描隧道显微镜实验相结合,解析磷在 Cu(111) 上的反应过程。
团队以孤立磷原子与完整单层磷的形成能之差 ΔE 为描述符,比较各衬底上两类成键的竞争:Cu(111) 的 ΔE 为 −0.11 eV,位于过渡区、略偏向 P–Cu 成键。CALYPSO 全局搜索表明,各覆盖度下磷化铜的形成能均低于磷烯衍生结构,以六铜配位的 Cu₂P 最稳定;单个磷也以置换表面铜为最优构型。
为此构建含 7353 个构型的训练集,训练出的力场对能量与力的均方根误差仅 6.5 meV/atom 与 112.3 meV/Å。450 K 沉积模拟中,磷克服 0.95 eV 势垒嵌入并置换表面铜,无序团簇约 23 ns 转为有序 Cu₂P,约 50 ns 后六配位磷占主导、连成连续薄膜;450–600 K 产物始终是 Cu₂P,700 K 时磷溶入衬底、无序化。
实验上,500 K 沉积磷的扫描隧道显微镜图像呈周期约 4.3 nm 的亮团簇与 4.1 Å 蜂窝晶格,与 Cu₂P 模型的模拟像吻合;P–P 间距 4.17 Å、结合能约 3.0 eV/单胞,P 2p 峰 129.3 eV 属金属磷化物特征。以往归为“超平坦蓝磷”的蜂窝结构,实为 Cu₂P 的铜衍生蜂窝晶格。
界面应变使该层自组织成重构网络:500 K 退火呈直线网络,700 K 转为螺旋图案,节点间距由 4.3 增至 4.5 nm、高度由约 75 降至约 25 pm。覆盖层扭转约 1.6° 时单胞形成能最低,节点间距 4.4 nm,应力由 132.26 降至 32 meV/Ų。覆盖度超 0.5 ML 后,新增磷只形成三维磷岛。
图注说明
图1 Cu–P 体系的热力学分析与结构搜索。(A) 以描述符 ΔE 划分各衬底上 P–P 成键与表面合金化的竞争区间。(B) 不同覆盖度下磷化铜的形成能。(C) 磷化铜与磷烯形成能对比,磷化铜更低。(D) 各组分最低能构型俯视图,Cu₂P 最稳定。
图2 Cu–P 机器学习力场的构建、验证与生长模拟。(A) 含 7353 个构型的训练集草图映射,颜色表示平均原子能。(B) 损失函数约 120000 代后收敛。(C)(D) 预测的能量与力同密度泛函理论高度一致。(E) 450 K 磷沉积快照,红圈为嵌入的磷,白框为 Cu₂P 单胞。
图3 Cu₂P 的成核动力学与配位演化。(A) 450 K 共沉积快照,团簇由近 Cu₃P 组分转为有序 Cu₂P 并连成薄膜。(B) 磷面内配位数随时间的演化。(C) 最终薄膜俯视结构,颜色区分配位环境。(D) 不同温度下最终配位数的分布,700 K 时六配位不占优。
图4 Cu₂P 薄膜的结构表征与实验验证。(A) 退火后有序蜂窝晶格俯视图。(B) 退火中径向分布函数的演化,P–P 峰渐锐化。(C) 实验图像呈周期 4.3 nm 的亮团簇与蜂窝晶格,高分辨像与模拟像吻合。(D)(E) 界面电荷再分布与电子局域函数,显示成键。
图5 直线与螺旋图案的实验与模拟对比。(A)(B) 500 K 与 700 K 退火后的实验与模拟图像,节点间距由 4.3 增至 4.5 nm。(C)(D) 扭转 0° 与 1.6° 的弛豫结构俯视图,后者呈螺旋位错网络。(E) 覆盖层相对衬底扭转示意。(F)(G) 形成能与节点间距随扭转角的变化,间距越大形成能越低。
总结展望
该工作表明,在反应性衬底上,主导磷生长的是界面合金化而非范德华外延:强 Cu–P 相互作用驱动磷置换进入 Cu(111) 表层,形成热力学与动力学双占优的扭转 Cu₂P 表面合金,借扭转与滑移释放应变。这澄清了该体系相演化的长期争议,也提示获得磷烯须以动力学调控困住亚稳态,或以缓冲层削弱 Cu–P 相互作用。前驱体与衬底的成键竞争决定单元素二维材料的界面相,机器学习力场大尺度模拟结合原子分辨表征,为界面相工程提供了可推广的框架。
文献链接
https://doi.org/10.1002/adfm.79093
#二维材料 #磷化铜 #机器学习